Bernd Brendel, Peter Hahmann (beide Jena)
Raster-Elektronenmikroskopie bei Carl Zeiss JENA
Jenaer Jahrbuch zur Technik – und Industriegeschichte Band 21 (2018), S. 173-214
Inhalt:
Das wesentliche Wirkprinzip des Rastermikroskopes ist die punktweise Detektion von Substrateigenschaften und die synchrone Wiedergabe auf einem Bildschirm. Die Grundlagen waren lange bekannt, aber erst die Entwicklung der Elektronik ermöglichte die Nutzung im großen Maßstab. Parallel zur weltweiten Entwicklung arbeitete auch Carl Zeiss Jena an einem Rasterelektronenmikroskop. Anforderungen der mikroelektronischen Industrie, vornehmlich in der UdSSR und der DDR, stoppte die Arbeiten zum Mikroskop im engeren Sinne, führten aber zu einem völlig neuen Gerätetypus, dem Elektronenstrahl -Meß-,-Kontroll- und Belichtungsgerät ZRM12. Das Rasterprinzip lässt sich auch die lichtoptische Variante übertragen. In Jena entstand das Messgerät M100, das lange Zeit für die interne Qualitätskontrolle eingesetzt wurde. Beide Geräte konnten zweidimensionale Strukturen messen. Der Einsatz des weiterentwickelten Elektronenstrahlgerätes führte (neben zahlreichen weiteren Maßnahmen) zur Akkreditierung des Kalibrierlaboratoriums des Deutschen Kalibrierdienstes für zweidimensionale Positioniernormale bei der Jenoptik Technologie GmbH, Jena DKD-K-12401.