Bernd Brendel, Peter Hahmann (beide Jena)
Raster-Elektronenmikroskopie bei Carl Zeiss JENA
Jenaer Jahrbuch zur Technik – und Industriegeschichte Band 21 (2018), S. 173-214
Inhalt:
Das wesentliche Wirkprinzip des Rastermikroskopes ist die punktweise Detektion von Substrateigenschaften und die synchrone Wiedergabe auf einem Bildschirm. Die Grundlagen waren lange bekannt, aber erst die Entwicklung der Elektronik ermöglichte die Nutzung im großen Maßstab. Parallel zur weltweiten Entwicklung arbeitete auch Carl Zeiss Jena an einem Rasterelektronenmikroskop. Anforderungen der mikroelektronischen Industrie, vornehmlich in der UdSSR und der DDR, stoppte die Arbeiten zum Mikroskop im engeren Sinne, führten aber zu einem völlig neuen Gerätetypus, dem Elektronenstrahl -Meß-,-Kontroll- und Belichtungsgerät ZRM12. Das Rasterprinzip lässt sich auch die lichtoptische Variante übertragen. In Jena entstand das Messgerät M100, das lange Zeit für die interne Qualitätskontrolle eingesetzt wurde. Beide Geräte konnten zweidimensionale Strukturen messen. Der Einsatz des weiterentwickelten Elektronenstrahlgerätes führte (neben zahlreichen weiteren Maßnahmen) zur Akkreditierung des Kalibrierlaboratoriums des Deutschen Kalibrierdienstes für zweidimensionale Positioniernormale bei der Jenoptik Technologie GmbH, Jena DKD-K-12401.
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Peter Hahmann (Jena)
Eberhard Hahn: Entwickler auf dem Gebiet der Elektronenoptik
Jenaer Jahrbuch zur Technik – und Industriegeschichte Band 17 (2014), S. 11-53
Inhalt:
Eberhard Hahn war ein außerordentlich begabter Theoretiker und Erfinder. Vier Jahrzehnte prägte er die elektronenoptischen Aktivitäten im VEB Carl Zeiss Jena. Das waren die elektrostatischen und magnetischen Elektronenmikroskope sowie die Elektronenstrahl- Lithographie mit Einstrahl- und Vielstrahlsystemen. Einerseits schaffte er das Rüstzeug, um die optischen Eigenschaften der Geräte zu berechnen und zu optimieren. Andererseits haben viele seiner Ideen zu neuen Wirkprinzipien zum internationalen Erfolg der Elektronenstrahlgeräte aus Jena beigetragen.
In diesem Beitrag wird das Lebenswerk von Eberhard Hahn ausführlich und fachlich tiefgründig gewürdigt. Der Autor war an der Umsetzung der Konzepte Eberhard Hahns zu Elektronenstrahl-Lithographieanlagen in die Praxis beteiligt. Viele der hier geschilderten Fakten und Eindrücke gehen daher auf eigenes Erleben zurück.
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Doris Ehrt und Adrian C. Wright
Werner Vogel – ein Virtuose mit dem Elektronenstrahl
Jenaer Jahrbuch zur Technik – und Industriegeschichte Band 11 (2008), S. 155-177
Inhalt:
Werner Vogel verwendete als Erster das Elektronenmikroskop zur Erforschung der Glasstruktur. Damit gelang es ihm, die Phasentrennung in Gläsern richtig zu erkennen und zu interpretieren. Das Verständnis der Phasentrennprozesses führte zur Entwicklung und Herstellung vieler neuer optischer und technischer Gläser.
Der Beitrag ist ein ins Deutsche übersetzter Artikel, in den das Leben und Werk dieses berühmten Glaswissenschaftlers gewürdigt wird.
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Gerhard Scheler (Jena und Steinach)
Bestimmung der spezifischen Ladung des Elektrons nach Hans Busch
Jenaer Jahrbuch zur Technik – und Industriegeschichte Band 16 (2013), S. 293-310
Inhalt:
In diesem Beitrag wird die vom Jenaer Physikprofessor Hans Busch entwickelte Methode „zur Bestimmung von e/m durch Längsfokussierung“ ausführlich beschrieben. Es wird gezeigt, wie seine Untersuchungen zur Bestimmung der prinzipiellen Fehler dieses Demonstrationsexperiments infolge unvermeidlicher Inhomogenität der Magnetfelder schließlich auf die Grundgleichungen der Elektronenoptik führten und damit Hans Busch zum Vater der Elektronenoptik machten. Im Anschluss beschreibt der Autor den von ihm in den Nachkriegsjahren entwickelten e/m-Messplatz im F-Praktikum und einen entsprechenden Busch-Versuch für die Experimentalphysikvorlesung.
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Peter Hahmann (Jena)
Ernst Guyenot zum 100. Geburtstag
Jenaer Jahrbuch zur Technik – und Industriegeschichte Band 16 (2013), S. 321-348
Inhalt:
In diesem Beitrag wird das Lebenswerk eines Zeiss-Wissenschaftlers gewürdigt, der sich insbesondere durch seine Arbeiten auf dem Gebiet der Elektronen-Mikroskopie und Elektronen-Lithographie große Verdienste erwarb. Der Autor, der noch persönlich mit Ernst Guyenot zusammenarbeitete, liefert dazu einen ausführlichen Bericht.
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