Peter Ullmann
Die Görlichsche Schule der Fluorid-Kristalle und ihre Bedeutung für die heutige VUV-Lithographie
Jenaer Jahrbuch zur Technik – und Industriegeschichte Band 8 (2006), S. 137-150
Inhalt:
Ein eindrucksvoller Bericht über die Görlichsche Schule der Fluorid-Kristalle, der der Autor selbst angehörte. Es werden Aufbau und optische Parameter der Kristalle beschrieben sowie deren Störstellen und die zu ihrer Aufklärung eingesetzten Untersuchungsmethoden. Aus dem Zusammenwirken der Görlichschen Laboratorien für Kristallzucht und für Festkörperphysik resultierten die Grundlagen für eine stabile industrielle Fertigung von Calziumfluorid-Kristallen, aktuell genutzt auch als Ausgangsmaterial für Projektionsobjektive von Wafersteppern in der VVV-Lithographie.