Karl-Werner Gommel (Jena)
Geräteentwicklungen für die Fotolithografie bei Carl Zeiss Jena
Alexander Heyroth zum 80 Geburtstag gewidmet
Jenaer Jahrbuch zur Technik – und Industriegeschichte Band 10 (2007), S. 154-174
Inhalt:
Beschrieben werden folgende Geräteentwicklungen:
– Automatischer Neunfachrepeater (ANR)
– Universal-Einfachrepeater (UER)
– Automatischer Einfachrepeater (AER)
– Masken-Projektions-Überdeckungsrepeater (MPÜR)
– Automatischer Überdeckungsrepeater (AÜR)
– Defektkontrollgerät (DKG)
– Projektions-Justier- und Belichtungseinrichtung (JuBPM)